演讲嘉宾 王羚博士、研发工程师 上海富乐德智能科技发展有限公司 演讲题目 半导体陶瓷类部件的清洗和检测 报告内容简介 半导体设备中的陶瓷类部件主要集中在PVD、CVD、蚀刻等步骤，常见的部件种类包括陶瓷盘和陶瓷环。长期使用的陶瓷部件表面附着残留的研磨颗粒、抛光液残留、蚀刻残留；不及时清洗会导致颗粒超标，产品良率下降，长期的颗粒残留也会造成部件的损伤，并降低使用寿命。本报告主要介绍半导体设备清洗工艺以及湿法清洗对陶瓷类部件的应用，清洗工艺涉及的过程检测，以及陶瓷类部件清洗前后的微污染检测。简要介绍富乐德智能科技发展有限公司的发展历史及主营业务，同时结合公司主要业务介绍陶瓷类部件的清洗和检测技术。 报告嘉宾简介 王羚，博士；于2017年毕业于美国佛罗里达国际大学化学-法医学专业，获取理学博士和法医学硕士，博士和博士后期间从事毒品和物证DNA快检技术的开发，发表学术论文10余篇；2021年加入富乐德担任研发工程师，主要致力于半导体微污染和清洗工艺的检测方法开发，同时对客户的需求提供化学类和材料类的检测方案，助力于他们的部件检测和失效分析。 报告人单位简介 上海富乐德智能科技发展有限公司前身为申和热磁电子有限公司洗净事业部，现隶属于Ferrotec（中国）集团下安徽富乐德科技发展股份有限公司。上海富乐德智能科技发展有限公司提供泛半导体领域设备精密清洗服务，并配套专业的有机、无机、材料、微污染相关的无损检测和半导体相关部件的材料失效分析服务。洗净事业部提供成熟的精密洗净及再生方案；分析检测中心提供专业的半导体设备、原物料、生产环境和清洁工艺等领域的定制化分析、检测、咨询和研发服务，依据客户的需求提供一站式技术服务的专业平台。© dream18560710 大会日程安排 SCHEDULE 报到日期：2024年6月4日 会议日期：2024年6月5日 会议地点：苏州金陵雅都大酒店 08:30-08:45 大会开幕式致辞 主办单位致欢迎词 08:45-10:15 主题报告分享 10:15-10:40 参观小展台，互动交流 10:40-12:00 主题报告分享 12:00-13:30 自助午餐 13:30-15:00 主题报告分享 15:00-15:25 参观小展台 15:25-16:55 主题报告分享 17:00-18:00 沙发论坛 18:30-20:30 答谢晚宴 论坛简介 introduction 2024先进陶瓷在半导体与新能源领域应用高峰论坛定于6月5日在苏州金陵雅都大酒店隆重举行， 邀请京瓷、中科院物理所、中科院上硅所、苏州珂玛、晨华、安地亚斯、富乐德、东莞理工、中材高新、宁夏北瓷等国内顶级研究院学者、高校教授、知名企业技术高管出席并做大会报告。论坛将高度围绕第三代半导体材料，半导体晶圆与芯片制程设备（如光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、热处理炉、扩散炉、CVD设备）用精密陶瓷零部件、新能源汽车用陶瓷轴承、半导体功率器件及封装、涵盖半导体新能源行业应用的陶瓷新材料、精密陶瓷零部件制备新工艺、烧结新技术、新装备及产业链发展，而举办的一场高端论坛与互动交流活动。为半导体级陶瓷产业与新能源汽车用陶瓷材料的上下游企业提供优质交流的宝贵机会，探讨解决制约半导体与新能源领域中精密陶瓷材料与关键零部件产业发展的卡脖子问题。 · 先进陶瓷在半导体领域 在国产替代以及需求扩张的催化下，半导体行业炙手可热。产业规模急速增大，半导体晶圆芯片制造对高精密陶瓷关键零部件的要求也越来越高。目前我国有上百家半导体晶圆芯片的设计与制造厂家，但高端半导体设备和关键精密陶瓷零部件大都依赖进口，大大制约了国内半导体行业的发展。高精密陶瓷部件的价值约占半导体设备的 15％以上，全球市场约为100 亿美元，几乎完全被美国、日本、韩国等国外企业垄断：包括高纯度氧化铝、氮化铝、氧化钇、碳化硅、氮化硅等精密陶瓷零部件（如静电卡盘、氮化铝加热器、真空吸盘、晶舟、工艺管、聚焦环）、以及高纯度陶瓷涂层及化学气相沉积碳化硅。上述精密陶瓷零部件的进口替代、实现国产化，不但经济价值巨大，而且具有重要的战略价值。 · 先进陶瓷在新能源领域 新能源领域包括新能源电动汽车、锂电池陶瓷隔膜、光伏与风电，应用的陶瓷材料也越来越多。由离子键和共价键结合的氧化物与非氧化物陶瓷材料，因其优异的热学、力学、电学性能，从而在新能源汽车、光伏及风电领域中大规模使用，如新能源汽车用氮化硅陶瓷轴承球、氧化铝继电器、陶瓷隔膜、碳陶刹车盘等，预计其市场规模有望在2025年突破数百亿。 参会注册：PARTICIPATE 论坛费用扫描下方二维码，报名参会 除此，各参会代表还将免费获赠先进陶瓷领域权威书籍《陶瓷工艺学》一本！该书在中国科协先进材料研究学会联合体和中国材料研究学会指导下完成，由福州大学、清华大学、哈尔滨工业大学和武汉理工大学共同编写完成，为icoure配套教材。以经典陶瓷工艺为主线，增加了现代陶瓷相关的粉体制备、成型、烧成及智能终端陶瓷等前沿知识内容，展示陶瓷原料、工艺、品种、性能及微观结构表征的发展和进步，彰显陶瓷在现代社会不可或缺的地位和作用。 01 论坛报告 COMPANY 岛尾翼 京瓷（中国）商贸有限公司汽车部品技术中心课 课长 演讲题目：京瓷陶瓷在新能源汽车热管理及半导体周边装置中新应用 陈小龙 中国科学院物理研究所研究员、博士生导师“天科合达”首席科学家 演讲题目：宽禁带半导体碳化硅的晶体生长研究进展和产业化 黄政仁 中国科学院上海硅酸盐所/宁波材料所原所长现任中国科学院上海高等研究院院长 演讲题目：先进碳化硅陶瓷研究与应用 刘先兵 苏州珂玛材料科技股份有限公司董事长兼总经理 演讲题目：半导体设备用先进陶瓷材料及零部件 孙矿 上海晨华科技股份有限公司浙江晨华科技有限公司研发总监 演讲题目：半导体用陶瓷静电吸盘专用烧结设备 胡明 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司总工 演讲题目：新能源车用陶瓷材料：AI2O3陶瓷基本特性及陶瓷金属化、陶瓷金属焊接 王羚 上海富乐德智能科技发展有限公司研发工程师 演讲题目：半导体陶瓷类部件的清洗和检测 刘伟 东莞理工学院机械工程学院增材制造研究所所长 演讲题目：碳化硅晶舟等陶瓷的3D打印技术与发展 李镔 中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司研发中心主任 演讲题目：高性能氮化硅材料的研发及应用发展现状 袁振侠 宁夏北瓷新材料科技有限公司副总经理/技术总监 演讲题目：半导体装备用氮化铝陶瓷部件特性及其应用 注：新增报告嘉宾持续更新中...... 02 论坛赞助及已参会单位 论坛赞助单位 已报名参会单位 Applied materialsASUZACGroup AEM Canada INC.USTB 北科大阿尔赛苏州无机材料有限公司阿兹肯（上海）化工有限公司安徽蓝讯通信科技有限公司安迈铝业（青岛）有限公司北京凝华科技有限公司北京元六鸿远电子科技股份有限公司北京兆泓生物科技有限公司北京中科先行创业投资管理有限公司昌江区经济高质量发展考核暨昌江区直机关绩效考核工作领导小组办公室常熟市银洋陶瓷器件有限公司常州市卓群纳米新材料有限公司翀众新材料（江苏）有限公司德玖山国际贸易（上海）有限公司东莞市昶丰机械科技有限公司福建富沃进出口有限责任公司福建华清电子材料科技有限公司福建华泰集团股份有限公司福建省长汀金龙稀土有限公司福建臻璟新材料科技有限公司福州大学材料科学与工程学院光跃投资（北京复奇管理咨询有限公司）广东道氏技术股份有限公司广东金瓷三维技术有限公司广州仪云科技有限公司国投陶瓷基复合材料研究院杭州幄肯新材料科技有限公司杭州银湖激光杭州中好新瓷科技有限公司合肥费舍罗热工装备有限公司合肥高歌先进电炉装备有限公司合肥恒力装备有限公司合肥圣达电子科技实业有限公司河北高富氮化硅材料有限公司河北恒博新材料科技股份有限公司河北中瓷电子科技股份有限公司河南海可易机械设备有限公司河南三特炉业科技有限公司河南省雪峰环境工程有限公司湖北嘉明新材料有限公司湖南金炉智能制造股份有限公司湖南利德电子浆料股份有限公司嘉兴市耐思威精密机械有限公司江门赛特精密陶瓷有限公司江苏观蓝新材料科技有限公司江苏和腾热工装备科技有限公司江苏亨芯石英江苏微艾诺智能装备集团有限公司江西省车田科技有限公司景德镇陶瓷昆山安泰美科金属材料有限公司昆山安泰美科金属材料有限公司丽水学院辽宁英冠高技术陶瓷股份有限公司美扬真空科技有限公司南京工业大学宁波合厚裕精密机械有限公司宁波恒普技术股份有限公司宁波新材料测试评价中心有限公司宁波云德半导体材料有限公司宁夏艾森达新材料科技有限公司欧陆埃文思材料科技(上海)有限公司平顶山市友盛精密陶瓷有限公司萍乡顺鹏新材料有限公司青岛精质精密模具有限公司青岛联瑞精密机械有限公司厦门格吉斯新材料有限公司厦门荷塘清源电子新材料合伙企业(有限合伙)厦门至隆山东博奥新材料技术有限公司山东工业陶瓷研究设计院有限公司山东硅元新型材料股份有限公司山东华信工业科技有限公司山东青州微粉有限公司陕西宝光陶瓷科技有限公司陕西九益气浮导轨有限公司陕西煤业化工技术研究院有限责任公司上海半导体装备材料产业投资管理有限公司上海晨华科技股份有限公司上海大学上海黛丝自动化设备有限公司上海富乐德智能科技发展有限公司上海皓越真空设备有限公司上海钜晶精密仪器制造有限公司上海徕木电子股份有限公司上海联泰科技股份有限公司上海翎羽机电科技有限公司上海诺纬电子科技有限公司苏州珂玛材料科技股份有限公司上海晨华科技股份有限公司中国科学院上海硅酸盐所上海剡腾电子有限公司上海莘翔自动化科技有限公司上海煊廷丝印设备有限公司上海富乐德智能科技发展有限公司上海玄亨科技股份有限公司东莞理工学院中国科学院物理研究所娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司宁夏北瓷新材料科技有限公司上海羿润自动化科技有限公司中材高新氮化物陶瓷有限公司上海玉宏电子商务有限公司上海紫莓仪器有限公司深圳极智超声科技有限公司深圳极智超声科技有限公司深圳市鸿富诚新材料股份有限公司沈阳北真真空科技有限公司京瓷（中国）商贸有限公司沈阳化工大学圣戈班圣戈班精细陶瓷（上海）有限公司 圣诺普科（上海）贸易有限