演讲嘉宾 刘伟 东莞理工学院 机械工程学院增材制造研究所所长、教授 演讲题目{碳化硅晶舟等陶瓷的3D打印技术与发展 } 报告内容简介 由于第三代晶圆材料碳化硅晶圆的优异性能以及它的兴起，给予了碳化硅陶瓷在半导体领域很多机会，例如与晶圆直接接触用于扩散炉的晶舟、悬挂晶舟的悬臂浆以及晶托部件等等，现在在国内（泛）半导体行业都有着十分广泛的应用。目前半导体碳化硅部件多采用注浆、挤出等传统成型方式，优势是成型过程简单易行，生产效率高同时适合大批量生产。但与之相对于的问题是精度通常较低，烧结阶段的良品率很低，需要大量的后加工手段已完成精密负责的部件。将3D打印工艺用于晶舟等（泛）半导体领域部件能够实现部件的一体化成型及高精密成型，大大减少甚至免除了繁琐的后加工，节约了成本。并且随着3D打印技术及设备的发展，（泛）半导体陶瓷部件和可以通过3D打印实现智能化、数字化及快速化。3D打印技术为（泛）半导体领域陶瓷部件的成型加工带来了新的方向和期望。 报告嘉宾简介 长期从事难加工材料及其微纳部件的智能制造（3D打印）、难加工切削刀具及其硬质涂层的智能制造（3D打印）、超浸润仿生功能化结构陶瓷的智能制造等领域的研究并取得了优秀的学术成果。获得2022年福建省闽江学者、2020年广东省杰出青年基金、入选2018年广州市珠江科技新星，分别主持3项国家自然科学基金（航空发动机重大研究计划培育项目1项、面上项目1项、青年项目1项）及日本学术振兴会外国人博士后研究项目等4项国家级课题；分别主持广东省杰出青年基金、广东省科技计划、广州市珠江新星计划、清华大学国家重点实验室开放基金等4项省部级课题，主持科研总结费430余万元。参与国家自然科学基金重点项目及重大科研仪器研制项目、国家863计划、广东省科技厅广东省前沿与关键技术创新专项等10余项课题。在国内外学术期刊上共发表学术论文101篇（82篇SCI），其中包括以第一作者（通讯作者）在SCI期刊上发表53篇，中科院大分区一区29篇(其中28篇为第一作者或第一通讯作者，1篇为第二通讯作者)，JCR一区刊物上发表35篇(其中34篇为第一作者或第一通讯作者，1篇为第二通讯作者)，其中影响因子大于10的论文3篇(其中2篇为第一作者且第一通讯作者，1篇为第二通讯作者)，影响因子大于4的论文43篇(其中41篇为第一作者或第一通讯作者，2篇为第二通讯作者)，google学术引用3000余次，SCI引用2181次，其中他引2067次，H因子26，发表单篇google学术引用次数超过200的论文3篇，超过150次的论文4篇，超过40的12篇；SCI单篇引用次数超过150的4篇，超过40次的论文10篇。发表的关于陶瓷3D打印的工作被日本科学技术厅（JST，相当于中国科技部）全文转载在其官网（https://www.spc.jst.go.jp/hottopics/1711/r1711_wu01.html）。申请中国发明专利33项（其中17项已授权，16项进入实审阶段）、授权实用新型专利3项，申请PCT专利12项(三性良好3项)及授权美国专利1项，取得软件著作权1项。 报告人单位简介 东莞理工学院，简称莞工，是经教育部批准、由东莞市人民政府举办的全日制普通高等学校，实行“省市共建、以市为主”的管理体制，入选卓越工程师教育培养计划、广东省高水平理工科大学、广东省高水平大学建设计划重点学科建设高校。学校于1990年1月经广东省人民政府批准筹建，于1991年7月经国家教育委员会批准提前招生，于1992年4月经国家教育委员会批准成立，于2002年4月经教育部同意升格为本科院校。于2018年5月新增为硕士学位授予单位。于2021年5月新增为广东省博士学位授予立项建设单位。截至2024年2月，学校有松山湖、莞城两个校区，总占地面积2200亩；馆藏书208.3万册；设有20个学院、开设62个本科专业；拥有2个一级学科硕士点，9个专业学位硕士点；有教职工1865人，全日制学生超2万人，继续教育学生近2万人。大会日程安排：报到日期：2024年6月4日 会议日期：2024年6月5日 会议地点：苏州金陵雅都大酒店 08:30-08:45 大会开幕式致辞 主办单位致欢迎词 08:45-10:15 主题报告分享 10:15-10:40 参观小展台，互动交流 10:40-12:00 主题报告分享 12:00-13:30 自助午餐 13:30-15:00 主题报告分享 15:00-15:25 参观小展台 15:25-16:55 主题报告分享 17:00-18:00 沙发论坛 18:30-20:30 答谢晚宴 论坛简介 introduction 2024先进陶瓷在半导体与新能源领域应用高峰论坛定于6月5日在苏州金陵雅都大酒店隆重举行， 邀请京瓷、中科院物理所、中科院上硅所、苏州珂玛、晨华、安地亚斯、富乐德、东莞理工、中材高新、宁夏北瓷等国内顶级研究院学者、高校教授、知名企业技术高管出席并做大会报告。论坛将高度围绕第三代半导体材料，半导体晶圆与芯片制程设备（如光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、热处理炉、扩散炉、CVD设备）用精密陶瓷零部件、新能源汽车用陶瓷轴承、半导体功率器件及封装、涵盖半导体新能源行业应用的陶瓷新材料、精密陶瓷零部件制备新工艺、烧结新技术、新装备及产业链发展，而举办的一场高端论坛与互动交流活动。为半导体级陶瓷产业与新能源汽车用陶瓷材料的上下游企业提供优质交流的宝贵机会，探讨解决制约半导体与新能源领域中精密陶瓷材料与关键零部件产业发展的卡脖子问题。 · 先进陶瓷在半导体领域 在国产替代以及需求扩张的催化下，半导体行业炙手可热。产业规模急速增大，半导体晶圆芯片制造对高精密陶瓷关键零部件的要求也越来越高。目前我国有上百家半导体晶圆芯片的设计与制造厂家，但高端半导体设备和关键精密陶瓷零部件大都依赖进口，大大制约了国内半导体行业的发展。高精密陶瓷部件的价值约占半导体设备的 15％以上，全球市场约为100 亿美元，几乎完全被美国、日本、韩国等国外企业垄断：包括高纯度氧化铝、氮化铝、氧化钇、碳化硅、氮化硅等精密陶瓷零部件（如静电卡盘、氮化铝加热器、真空吸盘、晶舟、工艺管、聚焦环）、以及高纯度陶瓷涂层及化学气相沉积碳化硅。上述精密陶瓷零部件的进口替代、实现国产化，不但经济价值巨大，而且具有重要的战略价值。 · 先进陶瓷在新能源领域 新能源领域包括新能源电动汽车、锂电池陶瓷隔膜、光伏与风电，应用的陶瓷材料也越来越多。由离子键和共价键结合的氧化物与非氧化物陶瓷材料，因其优异的热学、力学、电学性能，从而在新能源汽车、光伏及风电领域中大规模使用，如新能源汽车用氮化硅陶瓷轴承球、氧化铝继电器、陶瓷隔膜、碳陶刹车盘等，预计其市场规模有望在2025年突破数百亿。 参会注册 PARTICIPATE 论坛费用 扫描二维码，报名参会 会务费： 2600元/人 会务费包含大会证件、最新出版《陶瓷工艺学》一本、参会手册、自助午餐、晚宴等，不包含住宿。除此，各参会代表还将免费获赠先进陶瓷领域权威书籍《陶瓷工艺学》一本！该书在中国科协先进材料研究学会联合体和中国材料研究学会指导下完成，由福州大学、清华大学、哈尔滨工业大学和武汉理工大学共同编写完成，为icoure配套教材。以经典陶瓷工艺为主线，增加了现代陶瓷相关的粉体制备、成型、烧成及智能终端陶瓷等前沿知识内容，展示陶瓷原料、工艺、品种、性能及微观结构表征的发展和进步，彰显陶瓷在现代社会不可或缺的地位和作用。 《陶瓷工艺学》 主编：于岩 谢志鹏 副主编：陈俊峰 陈斐 王玉金于岩 福州大学材料学院教授博士生导师 谢志鹏 清华大学材料学院教授、博士研究生导师 information 01 论坛报告 COMPANY 岛尾翼 京瓷（中国）商贸有限公司汽车部品技术中心课 课长 演讲题目：京瓷陶瓷在新能源汽车热管理及半导体周边装置中新应用 陈小龙 中国科学院物理研究所研究员、博士生导师“天科合达”首席科学家 演讲题目：宽禁带半导体碳化硅的晶体生长研究进展和产业化 黄政仁 中国科学院上海硅酸盐所/宁波材料所原所长现任中国科学院上海高等研究院院长 演讲题目：先进碳化硅陶瓷研究与应用 刘先兵 苏州珂玛材料科技股份有限公司董事长兼总经理 演讲题目：半导体设备用先进陶瓷材料及零部件 孙矿 上海晨华科技股份有限公司浙江晨华科技有限公司研发总监 演讲题目：半导体用陶瓷静电吸盘专用烧结设备 胡明 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司总工 演讲题目：新能源车用陶瓷材料：AI2O3陶瓷基本特性及陶瓷金属化、陶瓷金属焊接 王羚 上海富乐德智能科技发展有限公司研发工程师 演讲题目：半导体陶瓷类部件的清洗和检测 刘伟 东莞理工学院机械工程学院增材制造研究所所长 演讲题目：碳化硅晶舟等陶瓷的3D打印技术与发展 李镔 中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司研发中心主任 演讲题目：高性能氮化硅材料的研发及应用发展现状 袁振侠 宁夏北瓷新材料科技有限公司副总经理/技术总监 演讲题目：半导体装备用氮化铝陶瓷部件特性及其应用 注：新增报告嘉宾持续更新中...... 02 论坛赞助及已参会单位 论坛赞助单位 已报名参会单位 Applied materialsASUZACGroup AEM Canada INC.USTB 北科大阿尔赛苏州无机材料有限公司阿兹肯（上海）化工有限公司安徽蓝讯通信科技有限公司安徽致磨新材料科技有限公司安迈铝业（青岛）有限公司北京凝华科技有限公司北京元六鸿远电子科技股份有限公司北京兆泓生物科技有限公司北京中科先行创业投资管理有限公司昌江区经济高质量发展考核暨昌江区直机关绩效考核工作领导小组办公室常熟市银洋陶瓷器件有限公司常州市卓群纳米新材料有限公司翀众新材料（江苏）有限公司德玖山国际贸易（上海）有限公司东莞理工学院东莞市昶丰机械科技有限公司福建富沃进出口有限责任公司福建华清电子材料科技有限公司福建华泰集团股份有限公司福建省长汀金龙稀土有限公司福建臻璟新材料科技有限公司福州大学材料科学与工程学院光跃投资（北京复奇管理咨询有限公司）广东道氏技术股份有限公司广东金瓷三维技术有限公司广州仪云科技有限公司国投陶瓷基复合材料研究院杭州幄肯新材料科技有限公司杭州银湖激光杭州中好新瓷科技有限公司合肥费舍罗热工装备有限公司合肥高歌先进电炉装备有限公司合肥恒力装备有限公司合肥圣达电子科技实业有限公司河北高富氮化硅材料有限公司河北恒博新材料科技股份有限公司河北中瓷电子科技股份有限公司河南海可易机械设备有限公司河南三特炉业科技有限公司 河南省雪峰环境