【6月5日苏州半导体陶瓷论坛演讲嘉宾】中材高新研发中心主任李镔:高性能氮化硅材料的研发及应用发展现状
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演讲嘉宾 李镔 研发中心主任 中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司 演讲题目 高性能氮化硅材料的研发及应用发展现状 报告内容简介 中材氮化物公司在高可靠性、低成本制备高性能氮化硅轴承球及高导热氮化硅基板方面取得了重要突破,极大推进了高性能氮化硅陶瓷的应用进程,其研发与生产的高端氮化硅轴承球、高导热氮化硅基板等多个产品应用发展迅速。氮化硅陶瓷轴承球具有钢质球不具备的许多优异性能,目前已在电动汽车绝缘轴承、新能源、高端装备等多个新型战略产业和国防军工建设中发挥了关键性作用。高导热氮化硅基板是适合应用于集成电路和大功率器件的散热材料,其兼具高热导率、高力学强度、高绝缘性、耐腐蚀等优点,主要应用于轨道交通、新能源汽车、充电桩、光伏、核能、风力发电、LED照明的IGBT、MOSFET等大功率半导体器件。可以肯定,未来是氮化硅陶瓷发展的重要机遇期。本报告从中材高新的基本情况、氮化硅陶瓷的重要特性、氮化硅陶瓷重点产品及应用、高性能氮化硅陶瓷的关键技术突破等方面进行了系统阐述,并对高性能氮化硅陶瓷的产业化与国产化发展前景进行了展望。 报告嘉宾简介 李镔,中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司研发中心主任,高级工程师。一直从事高性能氮化硅陶瓷系列产品的研发及中试产业化等工作,主要包括氮化硅陶瓷球HIP技术、高导热氮化硅基板制备技术及中试产业化、氮化硅陶瓷结构件注塑成型技术、陶瓷材料缺陷的无损检测研究等攻关工作,负责国家科研项目及新产品开发工作,作为项目/课题负责人承担了3项国家重点研发计划课题及军工项目,获得授权发明专利6项,发表核心期刊论文7篇,获得中国建材集团技术革新奖三等奖1项。 报告人单位简介 中材高新氮化物陶瓷有限公司(简称“中材氮化物”)隶属于中材高新,是专门从事高端氮化硅陶瓷材料研究开发生产的新材料企业,是国家级高新技术企业,国家级“专精特新”小巨人企业,山东省级瞪羚企业,建有全国唯一的国家工业陶瓷工程技术研究中心、建材行业氮化物陶瓷工程技术中心、山东省技术研发中心。中材氮化物是世界第三家、国内唯一一家批量生产热等静压(HIP)氮化硅陶瓷球的企业,陶瓷球产品批量供应世界轴承龙头企业和军工配套;同时是国内较早从事氮化硅基板研究的单位之一。中材氮化物北京分公司作为中材氮化物在北京的研发平台,前期在氮化硅陶瓷球HIP技术攻关方面取得了重大突破;在近10年高导热氮化硅基板的研制与中试产业化过程中,对高导热氮化硅基板的性能、应用特性积累了经验;近期在高纯氮化硅粉体研制方面取得了技术突破。 大会日程安排 SCHEDULE 报到日期:2024年6月4日 会议日期:2024年6月5日 会议地点:苏州金陵雅都大酒店 08:30-08:45 大会开幕式致辞 主办单位致欢迎词 08:45-10:15 主题报告分享 10:15-10:40 参观小展台,互动交流 10:40-12:00 主题报告分享 12:00-13:30 自助午餐 13:30-15:00 主题报告分享 15:00-15:25 参观小展台 15:25-16:55 主题报告分享 17:00-18:00 沙发论坛 18:30-20:30 答谢晚宴 论坛简介 introduction 2024 先进陶瓷在半导体与新能源领域应用高峰论坛定于6月5日在苏州金陵雅都大酒店隆重举行 ,邀请京瓷、中科院上硅所、中科院物理所、苏州珂玛、大和江东新材料、卡贝尼、宁夏北瓷、安地亚斯、中材高新、北方华创、晨华等国内顶级研究院学者、高校教授、知名企业技术高管出席并做大会报告。论坛将高度围绕第三代半导体材料,半导体晶圆与芯片制程设备(如光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、热处理炉、扩散炉、CVD设备)用精密陶瓷零部件、新能源汽车用陶瓷轴承、半导体功率器件及封装、涵盖半导体新能源行业应用的陶瓷新材料、精密陶瓷零部件制备新工艺、烧结新技术、新装备及产业链发展,而举办的一场高端论坛与互动交流活动。为半导体级陶瓷产业与新能源汽车用陶瓷材料的上下游企业提供优质交流的宝贵机会,探讨解决制约半导体与新能源领域中精密陶瓷材料与关键零部件产业发展的卡脖子问题。 · 先进陶瓷在半导体领域 在国产替代以及需求扩张的催化下,半导体行业炙手可热。产业规模急速增大,半导体晶圆芯片制造对高精密陶瓷关键零部件的要求也越来越高。目前我国有上百家半导体晶圆芯片的设计与制造厂家,但高端半导体设备和关键精密陶瓷零部件大都依赖进口,大大制约了国内半导体行业的发展。高精密陶瓷部件的价值约占半导体设备的 15%以上,全球市场约为100 亿美元,几乎完全被美国、日本、韩国等国外企业垄断:包括高纯度氧化铝、氮化铝、氧化钇、碳化硅、氮化硅等精密陶瓷零部件(如静电卡盘、氮化铝加热器、真空吸盘、晶舟、工艺管、聚焦环)、以及高纯度陶瓷涂层及化学气相沉积碳化硅。上述精密陶瓷零部件的进口替代、实现国产化,不但经济价值巨大,而且具有重要的战略价值。 · 先进陶瓷在新能源领域 新能源领域包括新能源电动汽车、锂电池陶瓷隔膜、光伏与风电,应用的陶瓷材料也越来越多。由离子键和共价键结合的氧化物与非氧化物陶瓷材料,因其优异的热学、力学、电学性能,从而在新能源汽车、光伏及风电领域中大规模使用,如新能源汽车用氮化硅陶瓷轴承球、氧化铝继电器、陶瓷隔膜、碳陶刹车盘等,预计其市场规模有望在2025年突破数百亿。01 论坛报告单位 COMPANY 京瓷株式会社 中科院上海硅酸盐研究所 中科院物理研究所 苏州珂玛材料科技股份有限公司 杭州大和江东新材料科技有限公司 上海卡贝尼精密陶瓷有限公司 宁夏北瓷新材料科技有限公司 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司 中材高新材料股份有限公司 北方华创 上海晨华科技股份有限公司 更多报告单位将陆续公布,敬请期待! 02 论坛十大主题 THEME 半导体制程中静电卡盘与真空吸盘的应用及制备工艺 高纯碳化硅和氮化铝陶瓷部件在半导体设备中应用 半导体级氧化铝和氧化钇精密陶瓷部件的制备技术 我国半导体级精密陶瓷产业瓶颈与发展战略 陶瓷新材料在新能源汽车领域应用发展状况 第三代碳化硅半导体的技术发展与应用前景 精密陶瓷轴承制备技术及在电动汽车批量化应用状况 高纯氮化铝氮化硅碳化硅粉体技术与产业发展 IGBT高导热陶瓷基板与半导体封装技术 半导体级精密陶瓷部件的烧结技术及其发展方向 03 往届参会代表名单 PARTICIPATE 比亚迪 中国电科十三所 国家建材研究总院陶瓷研究所 中国电子科技集团公司第二研究所 中科院宁波材料与技术研究所 中科院物理所 美扬真空科技有限公司 中材高新氮化物陶瓷有限公司 中国科学院上海硅酸盐研究所 泉州迈宝能源有限公司 Air Products 英飞凌半导体公司 日本京瓷 东旭集团 博世(上海)智能科技有限公司 青岛瓷兴新材料有限公司 江苏灿勤科技股份有限公司 河北高富氮化硅材料有限公司 苏州珂玛 无锡海古德新技术有限公司 广东东方锆业科技有限公司 宁夏北瓷 长春长光精瓷复合材料有限公司 斯凯孚(上海)汽车技术有限公司 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 安地亚斯 北方华创 东莞昶丰 厦门至隆真空科技有限公司 佛山市御湃新材料有限公司 湖南顶立科技股份有限公司 国瓷金盛 湖南维尚科技有限公司 中瓷电子 合肥费舍罗热工装备有限公司 山东硅元新型材料股份有限公司 上海钜晶精密仪器制造有限公司 浙江德汇电子陶瓷有限公司 山东鹏程特种陶瓷有限公司 南通威斯派尔半导体技术有限公司 辽宁英冠高技术陶瓷股份有限公司 宇环数控机床股份有限公司 阿尔赛(苏州)无机材料有限公司 郑州立新防弹陶瓷 苏州凯发新材料科技有限公司 宜兴市东山新型材料有限公司 苏州优锆纳米材料有限公司 河南林莱医疗器械有限公司 中科院长春光机所、长光启辰科技公司 苏州金盛瓷业有限公司 上海力滋碳素有限公司 苏州博胜材料科技有限公司 张家港市盛澳电炉科技有限公司 巢湖学院 宁夏北瓷新材料科技有限公司 福美来陶瓷有限公司 无锡市诚信耐火陶瓷有限公司 广东佛山市陶瓷研究所控股集团股份有限公司 苏州晶玺茂机械科技有限公司 重庆科技学院 上海睿力生物科技有限公司 新化县益博陶电有限公司 湖南省新化县恒生电子陶瓷有限责任公司 上海戎创铠迅特种材料有限公司 苏州赋金科技有限公司 新化县新天地精细陶瓷有限公司 新乡市三圆堂机械有限公司 南通新冯精密机械有限公司 平顶山市友盛精密陶瓷有限公司 佛山市康思达液压机械有限公司 合肥圣达电子科技实业有限公司 江西中科特瓷新材料有限公司 福建省长汀金龙稀土有限公司 湖南维尚科技有限公司 鼎固新材料(天津)有限公司 上海华硕精瓷陶瓷股份有限公司 江西工陶院精细陶瓷有限公司 萍乡顺鹏新材料有限公司 科益智展智能装备有限公司广州分公司(汇专科技集团股份有限公司)绍兴德汇半导体材料有限公司 无锡艾瑞杰陶瓷技术有限公司 苏州锦艺 芜湖映日科技股份有限公司 杭州新诺微电子有限公司 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 天津硕科科技有限公司 杭州斯启科技有限公司 广东省科学院协同创新研究院 江苏方达正塬电子材料科技有限公司 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司 深圳常兴技术股份有限公司 永泰电子 佛山市众润林建材科技有限公司 奕东电子股份 德清县轩语特种陶瓷制品厂 湖南大学 常州市卓群纳米新材料有限公司 苏州信垠通讯科技 内蒙古京航特碳科技有限公司 沈阳海默数控机床有限公司 河南北星精工技术有限公司 宜兴市运博科技有限公司 德中(天津)精密装备有限公司 江苏上瓷时代科技有限公司 中启资本 广东金钢新材料有限公司 灯塔市译丰新材料有限公司 辽阳坤鼎石墨制品有限公司 无锡格致新材料 中国建材检验认证集团淄博有限公司 奔朗先进材料科技(广东)有限公司 珠海惠友电子有限公司 郑州中瓷 广东奔朗新材料股份有限公司 万宝盛华 讯通科技 上海泽丰半导体科技有限公司 苏州楚翰真空科技有限公司 河南工业大学